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由于電子束射入樣品時(shí)會(huì)發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對(duì)比度信息會(huì)由電子束攜帶出來。例如晶體樣品會(huì)將電子束散射至后焦平面上離散的點(diǎn)上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會(huì)投影在成像設(shè)備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點(diǎn)的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,也就是沒有樣品的區(qū)域?qū)?huì)是暗的。這樣的圖像被稱為暗場(chǎng)圖像。

TEM常見的操作模式是亮場(chǎng)成像模式。在這一模式中,經(jīng)典的對(duì)比度信息根據(jù)樣品對(duì)電子束的吸收所獲得。樣品中較厚的區(qū)域或者含有原子數(shù)較多的區(qū)域?qū)﹄娮游蛰^多,于是在圖像上顯得比較暗,而對(duì)電子吸收較小的區(qū)域看起來就比較亮,這也是亮場(chǎng)這一術(shù)語的來歷。圖像可以認(rèn)為是樣品沿光軸方向上的二維投影,而且可以使用比爾定律來近似。對(duì)亮場(chǎng)模式的更復(fù)雜的分析需要考慮到電子波穿過樣品時(shí)的相位信息。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,掃描電鏡能譜技術(shù)服務(wù),在微觀世界中,這個(gè)微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

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