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擴散泵的工作原理是用電爐將特種擴散泵油加熱至蒸汽 狀態(tài),高溫油蒸汽膨漲向上升起,靠油蒸汽吸附電鏡鏡體內(nèi)的氣體,從噴嘴朝著擴散泵內(nèi)壁射出,在環(huán)繞擴散泵外壁的冷卻水的強制降溫下,油蒸汽冷卻成液體時析出氣體排至泵外,由機械泵抽走氣體,油蒸汽冷卻成液體后靠重力回落到加熱電爐上的油槽里循環(huán)使用。擴散泵的抽氣速度很快,約為每秒鐘570L左右,工作能力也較強,可達(dá)10~10Pa。但它只能在氣體分子較稀薄時使用,這是由于氧氣成分較多時易 使高溫油蒸氣燃燒,所以擴散泵通常與機械泵串聯(lián)使用,在機械泵將鏡筒真空度抽到一定程度時,才啟動擴散泵。

觀察試樣的各個區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2~3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同,由于工作距離大(可大于20 mm),掃描電鏡EDS測試服務(wù),焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍),樣品室的空間也大,因此,可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運動(即三度空間平移,三度空間旋轉(zhuǎn)),且可動范圍大,這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細(xì)節(jié)帶來極大的方便。

掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器  。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點。目前,掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。

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