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一般電鏡在第2聚光鏡中和物鏡中各裝有2組消像器,稱為聚光鏡消像散器和物鏡消像散器。聚光鏡產(chǎn)生的像散可從電子束斑的橢圓度上看出,它會(huì)造成成像面上亮度不均勻和限制分辨率的提高。調(diào)整聚光鏡消像散器(鏡體操作面板上裝有對(duì)應(yīng)可調(diào)旋鈕),使橢圓形光斑恢復(fù)到接近圓狀即可基本上消除聚光鏡中存在的像散。物鏡像散能在很大程度上影響成像質(zhì)量,消除起來也比較困難。通常使用放大鏡觀察樣品支持膜上小孔在欠焦時(shí)產(chǎn)生的費(fèi)涅爾圓環(huán)的均勻度,或者使用專門的消像散標(biāo)本來調(diào)整消除,這需要一定的經(jīng)驗(yàn)和操作技巧。在一些電鏡機(jī)型之中,開始出現(xiàn)了自動(dòng)消像散和自動(dòng)聚焦等新功能,為電鏡的使用和操作提供了極大的方便。

分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo),首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問題。

通常有關(guān)分辨率的問題,都會(huì)遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會(huì)是一個(gè)衍射斑,兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí),對(duì)應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊,則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率,。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律,比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ),但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的,半薄切片檢測(cè)技術(shù)服務(wù),并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率,和一般測(cè)試過程中能達(dá)到的分辨率。

掃描電子顯微鏡電子發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源;點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn),在透過后一級(jí)帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面,同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào)。此時(shí),電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實(shí)時(shí)成像記錄(圖a)。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號(hào)有:俄歇電子(Au E)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號(hào)的用途因作用深度而異。

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