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現(xiàn)代的TEM經(jīng)常裝備有允許操作人員將樣品傾斜一定角度的夾具,以獲得特定的衍射條件,而光圈也放在樣品的上方以允許用戶選擇能夠以合適的角度進(jìn)入樣品的電子束。這種成像方式可以用來研究晶體的晶格缺陷。通過認(rèn)真的選擇樣品的方向,不僅能夠確定晶體缺陷的位置,也能確定缺陷的類型。如果樣品某一特定的晶平面僅比強(qiáng)的衍射角小一點點,任何晶平面缺陷將會產(chǎn)生非常強(qiáng)的對比度變化。然而原子的位錯缺陷不會改變布拉格散射角,因此也就不會產(chǎn)生很強(qiáng)的對比度。

TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成 

電子:發(fā)射電子,由陰極、柵極、陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡,起到對電子束加速、加壓的作用。

聚光鏡:將電子束聚集,可用已控制照明強(qiáng)度和孔徑角。

樣品室:放置待觀察的樣品,并裝有傾轉(zhuǎn)臺,用以改變試樣的角度,還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。

物鏡:為放大率很高的短距透鏡,作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。

中間鏡:為可變倍的弱透鏡,作用是對電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流,可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。

透射鏡:為高倍的強(qiáng)透鏡,用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進(jìn)行了馬賽克的像素化,只要束斑縮小到和單點像素匹配就可以,束斑與束斑之間不會出現(xiàn)太多的重疊而導(dǎo)致分辨率下降。只有束斑與單點像素匹配后,再縮小束斑已經(jīng)沒有意義,不會帶來分辨率的提升,血腦屏障電鏡檢測技術(shù)服務(wù),相反會引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結(jié)論,雖然束斑越小理論分辨率越高,但是對于實際拍攝來說,像素和束斑越匹配才是效果越好。

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