什么是氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀可靠的廣泛的市場應(yīng)用，此款氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質(zhì)譜檢漏儀堅(jiān)固耐用，抗震性能極強(qiáng)，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn)：前級泵配備抽速高達(dá)15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達(dá) 2.5l/s，氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

以上內(nèi)容由科儀為您提供，今天我們來分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的相關(guān)內(nèi)容，希望對您有所幫助！

檢漏儀常規(guī)的維護(hù)

適當(dāng)?shù)木S護(hù)您的檢漏儀是非常必要的，具體步驟如下：

1、探頭清潔：利用附送的防護(hù)罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護(hù)罩確無灰塵或油脂。

2、拉下防護(hù)罩；

3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護(hù)罩；

4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴(yán)禁用像礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。

5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān)，因此較難預(yù)計(jì)準(zhǔn)確的更換時(shí)間。當(dāng)在清潔、純凈空氣中報(bào)警或不穩(wěn)定時(shí)，應(yīng)更換探頭，具體探頭步驟是如下：

（1）確認(rèn)本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)

（2）逆時(shí)針旋下舊探頭

（3）順時(shí)針旋上包裝箱中提供的備用探頭。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，汽車空調(diào)測漏設(shè)備，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等方向發(fā)展，這些特點(diǎn)很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機(jī)械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

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