? 微電子、半導(dǎo)體:使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層,能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。
?傳感器和換能器:自動化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器, Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性,涂層無,且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。
?Parylene適用于微機(jī)電(MEMS)、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)
*能進(jìn)行微米級微細(xì)制作和加工;
*與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性;
* 在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能;
*對微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性
眾所周知,在某些材料的表面上,只要鍍上一層薄膜,就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學(xué)性能。20世紀(jì)70年代,在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學(xué)鍍法。前者是通過通電,派瑞林納米鍍膜,使電解液電解,顯示屏派瑞林納米鍍膜,被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上,因此這種鍍膜的條件,基體必須是電的良導(dǎo)體,而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學(xué)還原法,必須把膜材配制成溶液,并能迅速參加還原反應(yīng),這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強(qiáng)度差,而且鍍膜既不均勻也不易控制,同時還會產(chǎn)生大量的廢液,造成嚴(yán)重的污染。因此,這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制。
化學(xué)氣相沉積技術(shù)是把含有構(gòu)成薄膜元素的單質(zhì)氣體或化合物供給基體,汽車配件派瑞林納米鍍膜,借助氣相作用或基體表面上的化學(xué)反應(yīng),在基體上制出金屬或化合物薄膜的方法,飾品派瑞林納米鍍膜,主要包括常壓化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積和兼有CVD和PVD兩者特點(diǎn)的等離子化學(xué)氣相沉積等。
真空鍍膜技術(shù)與濕式鍍膜技術(shù)相比較,具有下列優(yōu)點(diǎn):(1)薄膜和基體選材廣泛,薄膜厚度可進(jìn)行控制,以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。(2)在真空條件下制備薄膜,環(huán)境清潔,薄膜不易受到污染,因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。(3)薄膜與基體結(jié)合強(qiáng)度好,薄膜牢固。(4)干式鍍膜既不產(chǎn)生廢液,也無環(huán)境污染。
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