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在性能較高的透射式電鏡中,大多采用上述側(cè)插式樣品臺,為的是大限度地提高電鏡的分辨能力。次的電鏡可以配備多種式樣的側(cè)插式樣品臺,某些樣品臺通過金屬聯(lián)接能對樣品網(wǎng)加熱或者致冷,以適應(yīng)不同的用途。樣品是先盛載在銅網(wǎng)上,然后固定在樣品臺上的,樣品臺與樣品握持桿合為一體,是一個非常精巧的部件。樣品桿的中部有一個“O”形橡膠密封圈,膠圈表面涂有真空脂,以隔離樣品室與鏡體外部的真空(兩端的氣壓差極大,比值可達(dá)10~10)?!悠肥业纳舷码娮邮ǖ栏髟O(shè)了一個真空閥,用以在更換樣品時切斷電子束通道 ,只破壞樣品室內(nèi)的真空,植物半薄切片技術(shù)服務(wù),而不影響整個鏡筒內(nèi)的真空,這樣在更換樣品后樣品室重又抽回真空時,可節(jié)省許多時間。當(dāng)樣品室的真空度與鏡筒內(nèi)達(dá)到平衡時, 再重新開啟與鏡筒相通的真空閥。

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時間、空間順序逐點形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來說明掃描電鏡成象的原理。

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