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沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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燒結(jié)法： ITO靶材燒結(jié)制作法是在以銦錫氧化物共沉淀粉末或氧化銦和氧錫混合粉末為原料，加入粘結(jié)劑和分散劑混合后，壓力成型，脫脂，然后于1400℃---1600℃燒結(jié)。燒結(jié)法設(shè)備投入少，成本低，產(chǎn)品密度高、缺氧率低，尺寸大、但制造過(guò)程中對(duì)粉末的選擇性很強(qiáng)。
ITO靶制備的透明導(dǎo)電薄膜廣泛應(yīng)用于數(shù)碼相機(jī)、投影電視、數(shù)碼顯示的各種光學(xué)系統(tǒng)中，銀粒技術(shù)，需求量都很大。
中國(guó)的工業(yè)，由于長(zhǎng)期處于計(jì)劃經(jīng)濟(jì)體制內(nèi)，發(fā)展比較緩慢，對(duì)于金銀而言，銀粒誰(shuí)家好，可以說(shuō)是歷史悠久，源遠(yuǎn)流長(zhǎng)了，銀粒工藝，但在改革開放前，沒有納入國(guó)家計(jì)劃渠道的，直至2002年10月30日上海黃金正式開業(yè)，才宣告了計(jì)劃經(jīng)濟(jì)時(shí)金銀管理?xiàng)l例的失效，而鉑族金屬工業(yè)更是起步晚、技術(shù)落后，湖北銀粒，直到改革開放以后，才有了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，但與國(guó)際上的國(guó)家相比較，依然是落在人家后面，因此在中國(guó)無(wú)論是的投資儲(chǔ)備需求，還是實(shí)際的應(yīng)用需求。
平面顯示器（FPD)這些年來(lái)大幅沖擊以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機(jī)市場(chǎng)，亦將帶動(dòng)ITO靶材的技術(shù)與市場(chǎng)需求。如今的iTO靶材有兩種．一種是采用納米狀態(tài)的氧化銦混合后燒結(jié)，一種是采用銦錫合金靶材。銦錫臺(tái)金靶材可以采用直流反應(yīng)濺射制造ITO薄膜，但是靶表面會(huì)氧化而影響濺射率，并且不易得到大尺寸的臺(tái)金靶材。如今一般采取方法生產(chǎn)ITO靶材，利用L}IRF反應(yīng)濺射鍍膜．它具有沉積速度快．且能控制膜厚，電導(dǎo)率高，薄膜的一致性好，與基板的附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。
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第8年
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