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由于電子束射入樣品時(shí)會(huì)發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對(duì)比度信息會(huì)由電子束攜帶出來(lái)。例如晶體樣品會(huì)將電子束散射至后焦平面上離散的點(diǎn)上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會(huì)投影在成像設(shè)備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點(diǎn)的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,鐵死亡透射電鏡測(cè)試服務(wù),也就是沒有樣品的區(qū)域?qū)?huì)是暗的。這樣的圖像被稱為暗場(chǎng)圖像。

陰極 陰極是產(chǎn)生自由電子的,一般有直熱式和旁熱式2種,旁熱式陰極是將加熱體和陰極分離,各自保持獨(dú)立。在電鏡中通常由加熱燈絲(filament)兼做陰極稱為直熱式陰極,材料多用金屬鎢絲制成,其特點(diǎn)是成本低,但亮度低,壽命也較短。燈絲的直徑約為0.10~0.12mm,當(dāng)幾安培的加熱電流流過時(shí),即可開始發(fā)射出自由電子,不過燈絲周圍必須保持高度真空,否則就象漏氣燈泡一樣,加熱的燈絲會(huì)在傾刻間被氧化燒毀。燈絲的形狀常采用的是發(fā)叉式,也有采用箭斧式或點(diǎn)狀式的,后 2種燈絲發(fā)光亮度高,光束尖細(xì)集中,適用于高分辨率電鏡照片的拍攝,但使用壽命更短。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個(gè)微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過程與電視成像過程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來(lái)說明掃描電鏡成象的原理。

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