氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的?氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的,我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi),氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東,并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器,冰箱氦質(zhì)檢漏,在均勻磁場的作用下,具有-定速度的離子束,將按圓形軌跡運動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設(shè)備,使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標(biāo)的氦本底,保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性;實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測的精度;
氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏過程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸,防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的,所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果,因此,測試前必須設(shè)備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部干燥。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域:電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng);電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路;
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