直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm,高50 mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,透射電鏡EDS技術(shù)服務(wù),而且能真實觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和真實的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達到10 nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
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