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一般電鏡在第2聚光鏡中和物鏡中各裝有2組消像器,稱為聚光鏡消像散器和物鏡消像散器。聚光鏡產(chǎn)生的像散可從電子束斑的橢圓度上看出,它會造成成像面上亮度不均勻和限制分辨率的提高。調(diào)整聚光鏡消像散器(鏡體操作面板上裝有對應(yīng)可調(diào)旋鈕),使橢圓形光斑恢復(fù)到接近圓狀即可基本上消除聚光鏡中存在的像散。物鏡像散能在很大程度上影響成像質(zhì)量,消除起來也比較困難。通常使用放大鏡觀察樣品支持膜上小孔在欠焦時產(chǎn)生的費涅爾圓環(huán)的均勻度,或者使用專門的消像散標(biāo)本來調(diào)整消除,這需要一定的經(jīng)驗和操作技巧。在一些電鏡機型之中,開始出現(xiàn)了自動消像散和自動聚焦等新功能,為電鏡的使用和操作提供了極大的方便。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀,但由于其本身具有許多的優(yōu)點,發(fā)展速度是很快的。 

1 儀器分辨率較高,通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jié),采用LaB6電子,花藥掃描電鏡測試服務(wù),可以進一步提高到3nm。 

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大,且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察,同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm;放大倍數(shù)可以達到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào);并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。

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