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采用該技術(shù)的分子泵尺寸會(huì)更緊湊,并且有更高的壓縮比和前級(jí)耐壓。更高的壓縮比(特別是對(duì)小分子氣體的高壓縮比)可以帶來(lái)更好的極限真空,而更高的前級(jí)耐壓允許使用更小的前級(jí)泵,從而降低了整個(gè)真空系統(tǒng)的成本和尺寸。
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安捷倫真空(原瓦里安真空)是離子泵,賽斯是NEG吸氣劑泵的始創(chuàng)者,兩家公司有累計(jì)超過(guò)100年的真空經(jīng)驗(yàn)。此次的吸氣劑復(fù)合離子泵采用了各自的技術(shù),兩家公司充分的信任和緊密的合作促成了這一全新產(chǎn)品的問(wèn)世,我們期待更多類(lèi)似的合作,和更多讓我們眼前一亮的產(chǎn)品。
安捷倫 AFS 懸浮軸承系統(tǒng),采用特殊的彈性材料隔離轉(zhuǎn)子與泵體,避免轉(zhuǎn)子和軸承受到從泵體傳來(lái)的沖擊;并且由于彈性材料的阻尼效應(yīng),可以吸收各種振動(dòng)的能量,降低整泵的噪音和振動(dòng),保證好的軸
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與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器,變被動(dòng)保護(hù)為主動(dòng)調(diào)整,可以根據(jù)不同的工藝條件,自動(dòng)調(diào)整輸出功率和轉(zhuǎn)速,使泵在保證自身安全的同時(shí),始終工作在一個(gè)達(dá)到好的性能曲面上(3D),安捷倫真空泵TV701維修費(fèi)用,達(dá)到氣載量和壓縮比。同時(shí)因?yàn)楸苊饬朔肿颖贸?fù)荷運(yùn)行,可以延長(zhǎng)其使用壽命。
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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤(pán)復(fù)合成的機(jī)械結(jié)構(gòu),由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內(nèi)的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。渦旋式干泵具有噪音低,震動(dòng)小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)行穩(wěn)定,維護(hù)間隔周期長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),而且不易發(fā)生可能引起災(zāi)難性后果的突發(fā)的故障。
據(jù)悉,CombiNEG系列可復(fù)合2000L/s的吸氣劑泵,其開(kāi)啟工作時(shí)可將前級(jí)泵隔離封閉抽氣,可靠性高,所需電流小,對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)的影響也很小,并且無(wú)油無(wú)振動(dòng),非常適合粒子、表面科學(xué)儀器和設(shè)備等需要超高真空、極高真空的系統(tǒng)。雙泵復(fù)合單一抽氣口的設(shè)計(jì),使其結(jié)構(gòu)很緊湊,安裝使用也更簡(jiǎn)單。在結(jié)構(gòu)上,CombiNEG系列采用安捷倫科技(AgilentTechnologies)StarCell離子泵抽氣單元和賽斯集團(tuán) (SaesGroups)的燒結(jié)型非蒸散型吸氣劑(NEG)。
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分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱(chēng),是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動(dòng)的軸承承擔(dān)了很大的負(fù)荷,正確的使用和及時(shí)的保養(yǎng),對(duì)分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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許多設(shè)備在工作時(shí)都會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng),比如,家用電冰箱的磁場(chǎng)強(qiáng)度約有10高斯(1mT),MRI 的磁場(chǎng)強(qiáng)度甚至?xí)哌_(dá) 3T;盡管可以采取屏蔽等措施,仍然可能會(huì)有外漏的雜散磁場(chǎng),對(duì)工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。
MACHINA中應(yīng)用的真空產(chǎn)品
MACHINA 工作時(shí)需要穩(wěn)定的真空環(huán)境,以避免高速粒子束和殘留氣體分子之間的任何相互作用,該項(xiàng)目設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)選擇了安捷倫的渦輪分子泵作為主泵。安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊,可以任意角度安裝,而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術(shù)可以補(bǔ)償輕微的系統(tǒng)振動(dòng);對(duì)于一個(gè)緊湊便攜的系統(tǒng)而言,這些特點(diǎn)至關(guān)重要。
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