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分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo)，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問題。
通常有關(guān)分辨率的問題，都會遵循瑞利判據(jù)。即一個光點(diǎn)按照衍射理論會是一個衍射斑，兩個光點(diǎn)逐步靠近時，對應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個衍射斑的半高寬重疊，則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時兩個衍射斑之間的距離即為分辨率，。
但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動型的，并不完全適用半高寬重合的概念。
掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率，和一般測試過程中能達(dá)到的分辨率。
電子能量損失光譜儀通常在光譜模式和圖像模式上操作，這樣就可以隔離或者排除特定的散射電子束。由于在許多圖像中，非彈性散射電子束包含了許多操作者不關(guān)心的信息，從而降低了有用信息的可觀測性。這樣，電子能量損失光譜學(xué)技術(shù)可以通過排除不需要的電子束有效提高亮場觀測圖像與暗場觀測圖像的對比度。
晶體結(jié)構(gòu)可以通過高分辨率透射電子顯微鏡來研究，這種技術(shù)也被稱為相襯顯微技術(shù)。當(dāng)使用場發(fā)射電子源的時候，觀測圖像通過由電子與樣品相互作用導(dǎo)致的電子波相位的差別重構(gòu)得出。然而由于圖像還依賴于射在屏幕上的電子的數(shù)量，對相襯圖像的識別更加復(fù)雜。然而，這種成像方法的優(yōu)勢在于可以提供有關(guān)樣品的更多信息。
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