實(shí)驗(yàn)室氣體的供氣方式

采用中壓供氣，二級(jí)減壓的供氣方式，氣瓶氣體壓力為12.5MPa，經(jīng)一級(jí)減壓后為1MPa（管路壓力1MPa），送至用氣點(diǎn)，經(jīng)二級(jí)減壓后為0.3——0.5 MPa（根據(jù)儀器需求）送至儀器，供氣壓力比較穩(wěn)定。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道的材質(zhì)要求

（1）對(duì)所有氣體無(wú)滲透性

（2）吸附效應(yīng)很少

（3）對(duì)所輸送的氣體呈化學(xué)惰性

（4）能快速使輸送的氣體達(dá)到平衡

注：化學(xué)物質(zhì)腐蝕影響等級(jí) A—沒有影響 B—輕微影響 C—中度影響 D—嚴(yán)重影響

316不銹鋼是繼304不銹鋼之后，氣體管道安裝廠家，第二個(gè)得到廣泛應(yīng)用的鋼種，氣體管道安裝價(jià)格，具有較好的耐腐蝕性，耐高溫，強(qiáng)度優(yōu)i秀等特點(diǎn)，所以我們一直用    316無(wú)縫不銹鋼管。

實(shí)驗(yàn)室氣體工程安裝注意事項(xiàng)

（1） 管徑為1/8的管路很細(xì)且特軟，安裝后不直，很不美觀，建議管徑為1/8的全部換成1/4，在二級(jí)減壓器末端加一變徑就可以了。

（2） 氮?dú)?，Ar，壓縮空氣，氦氣，甲i烷，氧氣的已經(jīng)減壓器壓力表量程為0—25Mpa，二級(jí)減壓器為0—1.6 Mpa。乙i炔一級(jí)減壓器量程為0—4 Mpa，二級(jí)減壓器為0—0.25 Mpa。

（3） 氮?dú)?，Ar，壓縮空氣，氦氣，氧氣鋼瓶接頭共用氫氣鋼瓶接頭分兩種，氣體管道安裝，一是正轉(zhuǎn)鋼瓶接頭，另一是反轉(zhuǎn)。大氣瓶用的是反轉(zhuǎn)，小氣瓶用的是正轉(zhuǎn)。

（4） 氣體管路每隔1.5m設(shè)一管子固定件彎曲處及閥門兩端都應(yīng)設(shè)固定件。

（5） 氣體管路應(yīng)沿墻明設(shè)，氣體管道安裝怎么樣，以便安裝維護(hù)。

特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測(cè)試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準(zhǔn)確性。

工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)i先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。