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真空泵常規(guī)性能參數(shù)測(cè)試:抽速、壓縮比等性能參數(shù)是分子泵設(shè)計(jì)之初就要首先考慮的,也是各項(xiàng)設(shè)計(jì)調(diào)整優(yōu)化的重要目標(biāo)。很終產(chǎn)品定型時(shí),對(duì)外發(fā)布的各項(xiàng)參數(shù)和曲線,比如下圖的抽速和壓縮比曲線,都來自于這些測(cè)試的結(jié)果。這些測(cè)試都有相關(guān)的,在此不再展開描述。在泵處于垂直、水平和倒立狀態(tài)時(shí),各進(jìn)行6次沖擊測(cè)試所測(cè)試的泵在24次跌落后無任何問題(不發(fā)生轉(zhuǎn)子機(jī)械接觸,泵運(yùn)行狀態(tài)不變)。
在每次跌落后驗(yàn)證泵的不平衡性,結(jié)果表明變化,遠(yuǎn)低于閾值??拐駝?dòng)測(cè)試通過對(duì)一批泵(處于運(yùn)行和非運(yùn)行條件下)進(jìn)行一系列測(cè)試,證明對(duì)外部源產(chǎn)生振動(dòng)的耐受性在105分鐘的振動(dòng)周期中,全轉(zhuǎn)速和不運(yùn)行的每個(gè)泵在垂、水平、倒立方向上受到0.5–2g加速度水平的振動(dòng)。該測(cè)試證實(shí)了泵的穩(wěn)定性以及耐振性,因?yàn)槲从^察到轉(zhuǎn)子機(jī)械接觸或泵運(yùn)行狀態(tài)的改變,且泵不平衡性仍然遠(yuǎn)低于閾值。
溫度測(cè)試將泵置于–40°C至+70°C(處于非運(yùn)行狀態(tài))以及0°C至40°C(處于運(yùn)行狀態(tài))下暴露86小時(shí)。對(duì)每個(gè)泵的不平衡性和是否可正常操作驗(yàn)證11次,結(jié)果顯示僅存在的變異,遠(yuǎn)低于閾值。溫度測(cè)試證實(shí)了泵在各種預(yù)期運(yùn)行和非運(yùn)行溫度條件下的穩(wěn)定性。傅立葉振動(dòng)分析在制造過程中以及泵運(yùn)輸前的很后測(cè)試中,對(duì)每臺(tái)泵的振動(dòng)頻譜進(jìn)行驗(yàn)證。全速下的平均很大振動(dòng)水平:0.4m/s2。
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超高真空抽氣系統(tǒng)中的氫分壓突然升高
1.泵體未經(jīng)烘烤除氣;
低于150℃長(zhǎng)時(shí)間烘烤去氣;
2.冷卻水溫過高或冷卻系統(tǒng)故障使泵溫升高。
冷卻水溫應(yīng)低于14℃,運(yùn)轉(zhuǎn)中保證冷卻系統(tǒng)正常工作。
油蒸汽返流
1.突然停電或停泵時(shí),泵內(nèi)沒有及時(shí)充入干燥氣體;
在泵轉(zhuǎn)數(shù)降至很大轉(zhuǎn)速的一半時(shí),應(yīng)及時(shí)充入干燥氣體;
2.前級(jí)泵返流嚴(yán)重。
降低前級(jí)返油率。
譜拓不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵,同時(shí)還擁有各種旋片泵,干泵,譜拓泵,多級(jí)譜拓泵,氦質(zhì)譜檢漏儀,真空計(jì),質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和系統(tǒng)解決方案。推出了一款全新渦輪分子泵TwisTorr305,它繼承了TwisTorr系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤(rùn)滑等優(yōu)點(diǎn),
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當(dāng)時(shí)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)的分子泵不能直接用到圓排機(jī)上,因?yàn)閳A排機(jī)的工況,工作過程中燈管不可避免地會(huì)產(chǎn)生漏氣和破損而產(chǎn)生的壓力高、大氣流的沖擊和碎屑等的情況。鑒于此,由公司專項(xiàng)研制高壓強(qiáng)分子泵,由上海涌真機(jī)械有限公司實(shí)施圓排車制造替換譜拓泵,愛發(fā)科進(jìn)口泵保養(yǎng)服務(wù),把公司研制的分子泵應(yīng)用在上海正貝照明制造的圓排車上,進(jìn)行的替代設(shè)計(jì)制造。
此后,公司成功研制出FF-160/500G分子泵,其技術(shù)參數(shù)詳見表1。表1 FF-160/500G復(fù)合分子泵技術(shù)參數(shù)替換方案此前圓排機(jī)上的兩套分別為:一臺(tái)ZJP150譜拓泵和TRP-16一臺(tái)真空泵和凱尼ZJ150譜拓泵和愛發(fā)科VD401真空泵的譜拓真空組。左:普通分子泵;右:高壓強(qiáng)分子泵替換方案為:一套由一臺(tái)KYKY公司的FF160/500G分子泵,前級(jí)為北儀優(yōu)成的TRP-60或TRP-48真空泵,過渡真空室、接管、真空測(cè)量系統(tǒng)組成的機(jī)組(簡(jiǎn)稱分子泵機(jī)組)。
現(xiàn)一臺(tái)分子泵機(jī)組拖7工位,可增至10個(gè)工位。原兩臺(tái)拖7工位。表2 工作監(jiān)控情況及對(duì)比數(shù)據(jù)表實(shí)際效果對(duì)比分析分子泵機(jī)組比抽氣速率大,真空度高近一個(gè)數(shù)量級(jí)。而且相較而言,分子泵機(jī)組的噪音更小,占地面積更小。在運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用方面,按一年280天計(jì)算,每天24h,全年就是6720h。單位:元
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