高純氣體管道工程的變溫吸附法除水步驟有哪些？

1、用固體CaCl2除水，水份可降低至0.1%（體積）以下；

2、用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份，為了除去高純氣體中的雜質(zhì)水，資料表明工業(yè)上常用硫酸洗滌除去高純氣體夾帶的水份。在保持過(guò)程佳工藝的理想條件下，水份可降至0.01%（體積）以下；

3、采用冷凍法來(lái)脫除高純氣體中水，可降到600～1000ppm，夏季水份還要更多些；

4、JMT型干燥劑是一種含硅i鋁比的絲光沸石型分子篩，具有良好的熱穩(wěn)定性，除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外，在900℃前無(wú)明顯的分解峰，說(shuō)明其晶格具有優(yōu)良的穩(wěn)定性。

配管的準(zhǔn)備工作

(1)無(wú)論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，下料時(shí)均不得采用氧、乙i炔焰切割。無(wú)論是機(jī)械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤(rùn)滑劑。

(2)管子切口應(yīng)當(dāng)與管軸線嚴(yán)格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門(mén)應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應(yīng)當(dāng)重新試壓。

(4)波紋管等無(wú)法拆解成零部件的閥門(mén)，應(yīng)在組裝的情況下清洗。對(duì)清洗的效果可用下法檢查:從閥門(mén)入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門(mén)各處，氣體減壓器，閥門(mén)流出的溶劑過(guò)濾后用顯微鏡檢查過(guò)濾器表面情況是否符合設(shè)計(jì)要求。

(5)采用普通不銹鋼管時(shí)，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應(yīng)當(dāng)將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門(mén)、附件等，應(yīng)當(dāng)嚴(yán)格禁油，并在安裝前按有關(guān)要求嚴(yán)格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個(gè)別生產(chǎn)工藝如GaAs的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，氣體減壓器好不好，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。

氣路系統(tǒng)百科知識(shí)

      一、氣瓶間。

1、鋼瓶間的設(shè)計(jì)宜設(shè)在中心化驗(yàn)室的主入口側(cè)，并應(yīng)采取遮陽(yáng)防曬措施，當(dāng)鋼瓶間與建筑物為一體時(shí)，隔墻應(yīng)為鋼筋混凝土防爆墻。

2、通風(fēng)良好，并具有足夠的泄爆面積，氣體減壓器報(bào)價(jià)，室內(nèi)地面應(yīng)有防火花，防靜電措施;

3、可燃?xì)怏w鋼瓶(H2，氣體減壓器公司，C2H2)與助燃?xì)怏w鋼瓶(O2)應(yīng)隔開(kāi)布置;

4、還應(yīng)設(shè)立泄露報(bào)警系統(tǒng)。

二、色譜室。

1、中心化驗(yàn)室的管道應(yīng)統(tǒng)籌規(guī)劃、集中布置，以便于安裝、操作和檢修為布置原則;

2、引入中心化驗(yàn)室的工藝管道總管應(yīng)設(shè)切斷閥，并根據(jù)需要設(shè)置壓力表、溫度計(jì)、流量計(jì)、過(guò)濾器和減壓閥等。閥門(mén)或儀表宜設(shè)置在便于觀察和檢修的位置;

3、可燃易i爆氣體如氫氣、乙i炔、氧氣等宜明線鋪設(shè);

4、管道宜集中布置并沿墻明設(shè)，且方便安裝及檢修;

5、使用鋼瓶氣管道的設(shè)備臺(tái)應(yīng)離墻布置，留出的維修空間不宜小于600mm;

6、氫氣管道宜采用焊接連接，不應(yīng)采用螺紋連接和使用閘閥。

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