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旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。進(jìn)口真空泵維修

電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！

電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料， 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運(yùn)， 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見于半導(dǎo)體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標(biāo)靶， 使材料標(biāo)靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標(biāo)上.進(jìn)口真空泵維修

在蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中， 真空鍍膜室的本底真空度要求較高， 一般真空度越高， 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少， 鍍膜材料在沉積到基片上的過(guò)程中， 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少， 粒子的能量大， 可以在基片上形成更致密均勻的膜， 由于分子泵的無(wú)油和高真空特性， 逐漸取代了有油的擴(kuò)散泵成為*普遍的真空系統(tǒng)，進(jìn)口真空泵維修

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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理

1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作

有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。

2、分子泵加速指示燈不亮

電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

3、分子泵故障燈亮

檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。

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當(dāng)終止分子泵，請(qǐng)先得出關(guān)機(jī)命令(STOP)，待分子泵降速完畢，ROTATION顯示燈滅掉(液晶顯示器上顯示信息STOP，及轉(zhuǎn)速比顯示信息為0%)，確定分子泵早已徹*終止，才能夠斷電。如必須拆裝線纜，在如上述情況一切正常關(guān)機(jī)并關(guān)閉開關(guān)電源后，才能夠拆下來(lái)線纜，分子泵在一切正常運(yùn)行時(shí)肯定不可以拔下電纜線電源插頭。 真空渦輪分子泵維修

真空泵的工作原理是利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的交化而將體排出泵外，主要是在吸氣過(guò)程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過(guò)程中體積變小，壓強(qiáng)增大， 終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。作用：真空泵的作用是產(chǎn)生負(fù)壓，從而增加制動(dòng)力。 真空渦輪分子泵維修

通常而言，處理真空泵廢氣有3種方法，第*種就是碳吸附法，由于其特殊的性質(zhì)，表面積大，吸附能力強(qiáng)，活性炭被廣泛應(yīng)用于過(guò)濾場(chǎng)景，過(guò)濾水、氣味等，varian分子泵維修要多少錢，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的吸附后，吸附容積飽和，將停止吸附，失去過(guò)濾能力，因此用此方法需要頻繁更換。

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