廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent真空泵
安捷倫分子泵采用了新的懸浮技術AFS,懸浮轉子,能夠有限改善震動。AFS提供了超高精度,確保了軸承對準。同時徑向靜止設計,極大優(yōu)化轉子運動形態(tài)和降低噪音。安捷倫提供從TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,Agilent真空泵哪里維修,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以滿足客戶不同的應用需求。
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安捷倫分子泵采用新的3級TwissTorr 拖動級技術,通過分子泵旋轉盤面,提高氣體分子動能,從而有效提高抽速和極高的壓縮比。新的拖動級技術與上一代設計相比,功耗降低了20%。安捷倫Triscroll 和變頻Triscroll 渦旋式干泵為雙級渦旋式干泵,是目前市場上極限真空度好的干泵
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分子泵市場
分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,中山Agilent真空泵,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。
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油池安裝注意事項 ?、佟⒉鹩?/p>
②、油量控制
③、油池衛(wèi)生,Agilent真空泵檢修,防顆粒
④、對好、對稱上緊螺釘,防止有漏
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近日,安捷倫真空推出了一款全新渦輪分子泵 TwisTorr 305,它繼承了安捷倫TwisTorr 系列分子泵超高真空、高壓縮比、全無油潤滑等優(yōu)點,同時,還擁有諸多全新的特點,此外,TwisTorr 305 還是安捷倫采用全新設計和制造方法所推出的一款真空產品。
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安捷倫 TwisTorr 系列渦輪分子泵輕巧緊湊,可以任意角度安裝,而且其采用的 AFS 懸浮軸承技術可以補償輕微的系統(tǒng)振動;對于一個緊湊便攜的系統(tǒng)而言,這些特點至關重要。
安捷倫擴散泵特點一抽氣快(壓力降的快)與擴散泵相比,Agilent真空泵維修,前級泵(如羅茨泵)的抽速一般都會比較小,而且,在接近可以開啟擴散泵的壓力時其抽速又會很明顯的下降,所以這個壓力段是好多真空設備真空泵抽速的瓶頸。安捷倫擴散泵的噴塔設計使其可以開始抽氣的壓力和到達滿抽速的壓力都比較高,這樣,在前級泵抽速開始下降的階段就可以更早的以更大的抽速介入,使真空設備的壓力可以很多的下降。
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