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螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）。ulvac真空泵維修

真空常見故障、產(chǎn)生原因

1 .油量不足.油臟或乳化.泵油牌號不符或混油，夏季使用黏度過小的油 .漏氣.配合間隙過大( 或有磨損和劃痕) .油路不通，泵腔內(nèi)沒有保持適當(dāng)?shù)挠土?/p>

2.泵運(yùn)轉(zhuǎn)中溫升太高，使泵油濃度變稀，密封性變差，油蒸氣壓增大 .泵中隔板壓入時(shí)過盈量過大，使泵腔鼓起變形，漏氣.排氣閥片損壞密封不好 .裝配不當(dāng)，端蓋板螺釘松緊不一，轉(zhuǎn)子軸心位移 .旋片活動(dòng)不好 .被抽氣體溫度過高。ulvac真空泵維修

3 .進(jìn)氣管內(nèi)的過濾網(wǎng)被堵 .氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞或沒擰緊 加油到油標(biāo)中心換油檢查軸封、排氣閥、端蓋、進(jìn)氣口等部位的密封情況，并修換密封圈檢查泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，清除雜物、雜質(zhì)，按精度要求修磨調(diào)節(jié)油路的進(jìn)油量， 清洗時(shí)用高壓空氣吹通油孔，把沉積物清洗干凈通冷卻水降溫， 檢查配合間隙按精度要求進(jìn)行修理修整泵腔或換泵、報(bào)廢修換閥片重新裝配修磨轉(zhuǎn)子和旋片的配合，調(diào)換彈簧熱氣體被抽入泵之前加冷卻裝置取出進(jìn)氣口過濾網(wǎng)清洗干凈烘干后再裝好換墊圈，擰緊氣鎮(zhèn)閥電動(dòng)機(jī)超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，甚至轉(zhuǎn)不動(dòng)，ULVAC愛發(fā)科分子泵維修服務(wù)， 發(fā)生“ 卡死”現(xiàn)象 。

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廣州潽拓光電科技有限公司——ULVAC愛發(fā)科分子泵維修服務(wù)ULVAC氦質(zhì)譜檢漏儀維修

旋片真空泵的清洗

為了清潔旋片真空泵而沒有明顯的故障，泵一般不拆卸，只有舊油和污垢從排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）從帶漏斗的進(jìn)氣口。手動(dòng)緩慢旋轉(zhuǎn)泵輪數(shù)次后，釋放油。通過重復(fù)相同的方法一次或兩次，新油可以正式使用。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵氣體輸送能力強(qiáng)大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強(qiáng)。沒有必要清潔新的旋片真空泵，但有必要檢查管道入口是否干凈，沒有異物，并擦去表面膩?zhàn)印?/p>

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機(jī)械安裝

⑴真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。

⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)小。

⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）

⑷在連接管路中，用戶可在真空泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì)，隨時(shí)可檢查真空泵的極限壓力。

⑸按電動(dòng)機(jī)標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。

⑹真空泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，須取下電機(jī)皮帶，確認(rèn)真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向）

⑺對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。

⑻如真空泵口安裝電磁閥時(shí)，閥與真空泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。

⑼當(dāng)真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時(shí)，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。

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真空泵油是:一種專門為真空設(shè)備上的真空泵而研制的潤滑油，分礦物油和合成油兩種。如吸入化學(xué)氣體及溶劑，對泵油污染影響真空后，則必須作清洗換油處理。真空泵油適用于往復(fù)式增壓泵、機(jī)械增壓泵和油封機(jī)械真空泵等使用，亦可用于各種擴(kuò)散真空泵等。

工業(yè)上有各種各樣的真空泵，對于各種泵的性能都有規(guī)定的測試方法來檢驗(yàn)，主要參數(shù)有：

1、極限真空(通常稱為真空度)：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進(jìn)行長時(shí)間連續(xù)抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時(shí)，愛發(fā)科真空泵維修，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。

普通真空表測得的真空值(即：表壓)為相對真空度，用負(fù)數(shù)表示，是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。復(fù)合分子泵廠家

2、抽氣速率：在真空泵的吸氣口處，愛發(fā)科真空泵維修，單位時(shí)間內(nèi)流過的氣體體積。

傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機(jī)油，介質(zhì)氣體內(nèi)會(huì)含有大量油霧。

分子泵產(chǎn)生振動(dòng)的原因與減振措施

泵工作時(shí)振動(dòng)的產(chǎn)生及其減振措施保證分子泵工作精度的Z主要問題是盡量減少泵工作時(shí)的振動(dòng)。組成分子泵的零部件以及安放它的基礎(chǔ)，都可以認(rèn)為是一個(gè)彈性系統(tǒng)。當(dāng)分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)工作時(shí)，泵在其平衡位置作往復(fù)性機(jī)械運(yùn)動(dòng)，即是分子泵的振動(dòng)。

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