減壓器的使用要點(diǎn)
(1) 使用前應(yīng)確認(rèn)減壓器是完好的,并檢查有無油脂污染,特別是進(jìn)口處的污物及灰塵等應(yīng)及時清除。
(2) 檢查氣瓶是否有油脂污染,螺紋是否損壞,實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝,如發(fā)現(xiàn)有油脂或螺紋損壞,就不再使用該氣瓶,并將這些情況通知供氣單位,清除氣瓶閥(特別是閥口處)的油脂污染,修復(fù)螺紋。
(3) 把減壓器裝到氣瓶閥上,將輸入輸出接頭擰緊。
(4) 打開氣瓶閥前,先要把減壓器調(diào)節(jié)螺桿逆時針方向旋到調(diào)節(jié)彈簧不受壓力為止。
(5) 打開氣瓶閥前,先不要站在減壓器的正面或背面。氣瓶閥應(yīng)緩慢開啟至高壓表指示出氣瓶內(nèi)壓力。
(6) 順時針方向旋轉(zhuǎn)減壓器調(diào)節(jié)螺桿使低壓表達(dá)到所需的工作壓力。如果太高應(yīng)旋松調(diào)節(jié)螺桿,放出一部分氣后重新調(diào)節(jié)。
(7) 當(dāng)工作結(jié)束后,先關(guān)閉氣瓶閥,然后打開設(shè)備上的閥把減壓器內(nèi)的氣體全部排出。接著把剛才打開的閥門關(guān)好,逆時針方向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺桿,一直到調(diào)節(jié)彈簧不受壓為止。
(8) 減壓器應(yīng)妥善保存避免撞擊振動,不要放在露天和有腐蝕性介質(zhì)的地方。
(9) 減壓器只能使用規(guī)定的氣體。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,氣體管道安裝生產(chǎn)商,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下,氣體管道安裝公司,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。
集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):實(shí)驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實(shí)驗(yàn)室空間,更換鋼瓶時不需要切斷氣體,江蘇氣體管道安裝,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的鋼瓶,支付較少的鋼瓶租金,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個氣源。此種供應(yīng)方式會減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的鋼瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場所。
4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
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