首先,將待鍍膜物體放置在真空室內(nèi)。
接著,通過真空泵系統(tǒng)(通常包括機(jī)械泵和分子泵)排除真空室內(nèi)的氣體,以創(chuàng)造一個高真空環(huán)境。這種高真空環(huán)境有助于減少氣體和雜質(zhì)對鍍膜過程的干擾,確保鍍膜質(zhì)量。
鍍膜材料的準(zhǔn)備:
根據(jù)需要制備的薄膜類型,選擇相應(yīng)的鍍膜材料。常用的鍍膜材料包括金屬、氧化物、氮化物等。
這些材料通常以塊狀或顆粒狀的形式放置在鍍膜設(shè)備的固體樣品舟中。
高真空環(huán)境:磁控濺射鍍膜設(shè)備通常處于高真空環(huán)境中。這個高真空環(huán)境可以減少氣體雜質(zhì)對薄膜質(zhì)量的影響,使得沉積在基底表面的薄膜更加純凈和致密。充入氣:在高真空的條件下充入適量的氣。
施加電壓:在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁)之間施加幾百K直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電。
電子碰撞與電離:電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與原子發(fā)生碰撞,派瑞林真空鍍膜設(shè)備哪里實(shí)惠,使氣發(fā)生電離(在高壓作用下Ar原子電離成為Ar+離子和電子)。
離子轟擊靶材:入射離子(Ar+)在電場的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。
二次電子運(yùn)動:產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用,派瑞林真空鍍膜設(shè)備公司,產(chǎn)生E×B漂移,其運(yùn)動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動,它們的運(yùn)動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),派瑞林真空鍍膜設(shè)備廠家哪里近,并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar+來轟擊靶材。
如果濕度超過60%,派瑞林真空鍍膜設(shè)備,則需要采取降濕措施。這包括使用除濕機(jī)、增加通風(fēng)換氣量、使用吸濕材料(如硅膠)等方法來降低室內(nèi)濕度。避免頻繁的溫度和濕度波動對鍍膜過程產(chǎn)生不利影響。可以通過安裝溫度和濕度控制系統(tǒng)來自動調(diào)節(jié)室內(nèi)環(huán)境,確保其在理想范圍內(nèi)保持穩(wěn)定。
在鍍膜過程中,注意防止灰塵和雜質(zhì)的進(jìn)入。保持操作環(huán)境的整潔,使用空氣過濾器和干燥的環(huán)境來減少污染物的影響。
定期對鍍膜設(shè)備進(jìn)行維護(hù)和清潔,確保其處于良好的工作狀態(tài)。
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