羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變容真空泵。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。動量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸到出口。分子真空泵:它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。
擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或等蒸汽)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩?自凈化擴散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵② 分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
滑閥泵:由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。
直聯(lián)旋片泵:隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立廠。國產中小型直聯(lián)旋片泵在技術上已經過關,價格又遠比國外的泵便宜,所以國產泵仍然有競爭優(yōu)勢,關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,同時還要進一步提高國產直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
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