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還有一種新型的電子場發(fā)射式電子qiang,由1個陰極和2個陽極構(gòu)成,陽極上施加一稍低(相對第2陽極)的吸附電壓,用以將陰極上面的自由電子吸引出來,而第2陽極上面的極高電壓,將自由電子加速到很高的速度發(fā)射出電子束流。這需要超高電壓和超高真空為工作條件,它工作時要求真空度達到10-7Pa,熱損耗,淀粉掃描電鏡檢測服務,使用壽命可達2000 h;電子束斑的光點更為尖細,直徑可達到10nm以下,較鎢絲陰極(大于10nm)縮小了3個數(shù)量級;由于發(fā)光,它發(fā)出光斑的亮度能達到10 A/cm·s,較鎢絲陰極(106 A/cm·s )也提高了3個數(shù)量級。場發(fā)射式電子因技術(shù)、造價昂貴,只應用于高分辨電鏡當中。

由于電子束射入樣品時會發(fā)生布拉格散射,樣品的衍射對比度信息會由電子束攜帶出來。例如晶體樣品會將電子束散射至后焦平面上離散的點上。通過將光圈放置在后焦平面上,可以選擇合適的反射電子束以觀察到需要的布拉格散射的圖像。通常僅有非常少的樣品造成的電子衍射會投影在成像設備上。如果選擇的反射電子束不包括位于透鏡焦點的未散射電子束,那么在圖像上沒有樣品散射電子束的位置上,也就是沒有樣品的區(qū)域?qū)前档?。這樣的圖像被稱為暗場圖像。

陽極 為一中心有孔的金屬圓筒,處在陰極下方,當陽極上加有 數(shù)十千伏或上百千伏的正高壓??加速電壓時,將對陰極受熱發(fā)射出來的自由電子產(chǎn)生強烈的引力作用,并使之從雜亂無章的狀態(tài)變?yōu)橛行虻亩ㄏ蜻\動, 同時把自由電子加速到一定的運動速度(與加速電壓有關(guān),前面已經(jīng)討論過), 形成一股束流射向陽極靶面。凡在軸心運動的電子束流,將穿過陽極中心的圓孔射出電子外,成為照射樣品的光源。

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