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透射電鏡的總體工作原理是:由電子發(fā)射出來的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過聚光鏡將之會聚成一束尖細(xì)、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內(nèi)的樣品上;透過樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息,樣品內(nèi)致密處透過的電子量少,稀疏處透過的電子量多;經(jīng)過物鏡的會聚調(diào)焦和初級放大后,電子束進(jìn)入下級的中間透鏡和、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉(zhuǎn)化為可見光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對各系統(tǒng)中的主要結(jié)構(gòu)和原理予以介紹。

曝光控制有手控和自控兩種方法,快門啟動裝置通常并聯(lián)在活動熒光屏板的扳手柄上。電子束流的大小可由探測器檢測,給操作者以曝光指示;或者應(yīng)用全自動曝光模式由計算機控制,按程序選擇曝光亮度和曝光時間完成影像的拍攝記錄?,F(xiàn)代電鏡都可以在底片上打印出每張照片拍攝時的工作參數(shù),如:加速電壓值、放大率 、微米標(biāo)尺、簡要文字說明、成像日期、底片序列號及操作者注解等備查的記錄參數(shù)。觀察室與照相室之間有真空隔離閥。以便在更換底片時,只打開照相室而不影響整個鏡筒的真空。

分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo),首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問題。

通常有關(guān)分辨率的問題,都會遵循瑞利判據(jù)。即一個光點按照衍射理論會是一個衍射斑,兩個光點逐步靠近時,對應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個衍射斑的半高寬重疊,則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時兩個衍射斑之間的距離即為分辨率,。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律,比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ),葉綠體電鏡技術(shù)服務(wù),但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動型的,并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗收分辨率,和一般測試過程中能達(dá)到的分辨率。

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