高純六氟化硫

用途：在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源，不會產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品；

變壓器中的絕緣介質(zhì)；

金屬冶煉中的保護(hù)氣氛；

六氟化硫斷路器、互導(dǎo)傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體

電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域

作為光導(dǎo)纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑

作為大氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)檢測領(lǐng)域的示蹤劑

肝i臟腫i瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途

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儲運(yùn)

1.運(yùn)輸注意事項(xiàng)：無腐蝕性，可使用通用材料.對液Ar可使用奧氏體不銹鋼。Ar一般用玻璃瓶或鋼瓶貯裝。在貯運(yùn)過程中應(yīng)輕裝輕卸，嚴(yán)防容器碰損。液Ar產(chǎn)量小，可以采用類似于小型液氮屏型的液氦容器貯存和運(yùn)輸。采用此類容器時(shí)，其內(nèi)容的支撐必須補(bǔ)強(qiáng)，以適應(yīng)液Ar較大的密度。

2.儲存注意事項(xiàng)：庫房通風(fēng)低溫干燥; 輕裝輕卸。

（D2)

包裝：采用44L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到2-8L的氣瓶中。

用途：在半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池等電子行業(yè)在硅燒結(jié)或退火工藝中置換氫；應(yīng)用于核子融合反應(yīng)。

理化性質(zhì): D2是普通氫較重的穩(wěn)定同位素。它是無色、無味、無毒的可燃?xì)怏w。其沸點(diǎn)為-249.5℃。與分子氫一樣，雙原子D2分子也存在正、仲同分異構(gòu)現(xiàn)象。室溫下，D2正-仲異構(gòu)體混合物的平衡組成為2：1，特種氣體檢測，這種D2稱為常態(tài)D2。降低溫度，有利于向正D2轉(zhuǎn)化。在20.4K時(shí)，平衡混合物含正D297.8%，特種氣體行業(yè)，此時(shí)的D2稱為平衡D2。

注意事項(xiàng)：

儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃，江蘇特種氣體，相對濕度不超過80％。應(yīng)與氧化劑、鹵素分開存放，特種氣體用途，切忌混儲。采用防爆型照明、通風(fēng)設(shè)施。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

密閉操作，加強(qiáng)通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員穿防靜電工作服。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑、鹵素接觸。在傳送過程中，鋼瓶和容器必須接地和跨接，防止產(chǎn)生靜電。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。