氣體管道安裝

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)作為一種氣體補(bǔ)給方式，現(xiàn)已經(jīng)被人們?cè)絹?lái)越廣泛的使用。它是一種包括了氣源、切換裝置、壓力調(diào)節(jié)設(shè)備、終端、報(bào)警設(shè)備。氣路系統(tǒng)通常采用不銹鋼管道。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)主要包括中央集中供氣系統(tǒng)和氣瓶分散供氣系統(tǒng)兩種模式。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)已成為實(shí)驗(yàn)室的主流，氣體管路設(shè)計(jì)廠商，其優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在集中供氣更安全、更經(jīng)濟(jì)、純度更高，工作流程更優(yōu)化。實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)特殊的工作區(qū)域，從安全、經(jīng)濟(jì)社會(huì)效應(yīng)及實(shí)際使用效益角度考慮，形成系統(tǒng)的供氣迫在眉睫，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的安全系數(shù)應(yīng)通過(guò)集中供氣來(lái)實(shí)現(xiàn)，氣瓶供氣已逐步淘汰。

實(shí)驗(yàn)室氣體管道安裝

【實(shí)驗(yàn)室氣體管路要求】

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。

2、氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。

3、易i燃?xì)怏w，如乙i炔需要和其他氣體分開單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。

5、高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。

6、 每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

9、不銹鋼管件在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個(gè)系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。

10、供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測(cè)試、密封測(cè)試和穩(wěn)定性測(cè)試。

【實(shí)驗(yàn)室氣體管路安裝檢驗(yàn)】

實(shí)驗(yàn)室承包商要保證氣體管路系統(tǒng)的清潔，所有氣體管路的檢驗(yàn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)程序。氣體管路要做壓力檢驗(yàn)，防止管路泄漏。

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，氣體管路設(shè)計(jì)批發(fā)，但是對(duì)要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

注：①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高i級(jí)別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

②對(duì)于自燃爆i炸，氣體管路設(shè)計(jì)多少錢，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，氣體管路設(shè)計(jì)，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)，目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。

通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等，目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。

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