直流磁控濺射:一般用于導(dǎo)電型(如金屬)靶材的濺射。
射頻磁控濺射:一般用于非導(dǎo)電型(如陶瓷化合物)靶材的濺射。射頻電源在使用時(shí),有一小部分時(shí)間是在沖抵靶上積累的電荷,防止靶。
平衡磁控濺射:在陰極靶材背后放置芯部與外環(huán)磁場(chǎng)強(qiáng)度相等或相近的永磁體或電磁線圈,在靶材表面形成與電場(chǎng)方向垂直的磁場(chǎng)。但存在有效鍍膜區(qū)受限、膜基結(jié)合強(qiáng)度較差等缺點(diǎn)。
非平衡磁控濺射:將陰極靶面的等離子體引到濺射靶前更遠(yuǎn)的范圍內(nèi),LH320派瑞林鍍膜設(shè)備哪有賣,使基體沉浸在等離子體中,改善了膜層的質(zhì)量。
濺射現(xiàn)象:當(dāng)靶材表面的原子被激發(fā)并飛出時(shí),LH320派瑞林鍍膜設(shè)備銷售,它們會(huì)沉積在基底表面形成薄膜。這個(gè)過(guò)程是通過(guò)濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)的,即高能粒子或高速氣流等能量源對(duì)固體表面進(jìn)行轟擊,使得固體表面的原子或分子被激發(fā)并離開(kāi)固體表面,然后在真空中飛行并沉積在基底表面。
沉積速率:由于電子在靶材表面附近的等離子體區(qū)域內(nèi)被束縛并電離出大量的Ar+離子來(lái)轟擊靶材,開(kāi)平LH320派瑞林鍍膜設(shè)備,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。
首先,LH320派瑞林鍍膜設(shè)備哪有訂,將待鍍膜物體放置在真空室內(nèi)。
接著,通過(guò)真空泵系統(tǒng)(通常包括機(jī)械泵和分子泵)排除真空室內(nèi)的氣體,以創(chuàng)造一個(gè)高真空環(huán)境。這種高真空環(huán)境有助于減少氣體和雜質(zhì)對(duì)鍍膜過(guò)程的干擾,確保鍍膜質(zhì)量。
鍍膜材料的準(zhǔn)備:
根據(jù)需要制備的薄膜類型,選擇相應(yīng)的鍍膜材料。常用的鍍膜材料包括金屬、氧化物、氮化物等。
這些材料通常以塊狀或顆粒狀的形式放置在鍍膜設(shè)備的固體樣品舟中。
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