物鏡
處于樣品室下面,緊貼樣品臺,是電鏡中的個成像元件,在物鏡上產(chǎn)生哪怕是極微小的誤差,都會經(jīng)過多級高倍率放大而明顯地暴露出來,所以這是電鏡的一個重要部件,決定了一臺電鏡的分辨本領(lǐng),可看作是電鏡的心臟。
特點 物鏡是一塊強(qiáng)磁透鏡,植物鈣離子定位檢測技術(shù)服務(wù),焦距很短,對材料的質(zhì)地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標(biāo)的問題,便是對物鏡的性能設(shè)計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便于樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。
觀察試樣的各個區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2~3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運(yùn)動。但在掃描電子顯微鏡中則不同,由于工作距離大(可大于20 mm),焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍),樣品室的空間也大,因此,可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運(yùn)動(即三度空間平移,三度空間旋轉(zhuǎn)),且可動范圍大,這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細(xì)節(jié)帶來極大的方便。TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成
電子:發(fā)射電子,由陰極、柵極、陽極組成。陰極管發(fā)射的電子通過柵極上的小孔形成射線束,經(jīng)陽極電壓加速后射向聚光鏡,起到對電子束加速、加壓的作用。
聚光鏡:將電子束聚集,可用已控制照明強(qiáng)度和孔徑角。
樣品室:放置待觀察的樣品,并裝有傾轉(zhuǎn)臺,用以改變試樣的角度,還有裝配加熱、冷卻等設(shè)備。
物鏡:為放大率很高的短距透鏡,作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。
中間鏡:為可變倍的弱透鏡,作用是對電子像進(jìn)行二次放大。通過調(diào)節(jié)中間鏡的電流,可選擇物體的像或電子衍射圖來進(jìn)行放大。
透射鏡:為高倍的強(qiáng)透鏡,用來放大中間像后在熒光屏上成像。此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。
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