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柵極位于陰、陽(yáng)極之間,靠近燈絲頂端,為形似帽狀的金屬物,生物透射電鏡測(cè)試服務(wù),中心亦有一小孔供電子束通過(guò)。柵極上加有0~1000V的負(fù)電壓(對(duì)陰極而言),這個(gè)負(fù)電壓稱為柵偏壓VG,它的高低不同,可由使用者根據(jù)需要調(diào)整,柵極偏壓能使電子束產(chǎn)生向中心軸會(huì)聚的作用,同時(shí)對(duì)燈絲上自由電子的發(fā)射量也有一定的調(diào)控抑制作用。

工作原理 ,在燈絲電源VF作用下,電流IF流過(guò)燈絲陰極,使之發(fā)熱達(dá)2500℃以上時(shí),便可產(chǎn)生自由電子并逸出燈絲表面。加速電壓VA 使陽(yáng)極表面聚集了密集的正電荷,形成了一個(gè)強(qiáng)大的正電場(chǎng),在這個(gè)正電場(chǎng)的作用下自由電子便飛出了電子外。調(diào)整VF可使燈絲工作在欠飽和點(diǎn),電鏡使用過(guò)程中可根據(jù)對(duì)亮度的 需要調(diào)節(jié)柵偏壓VG的大小來(lái)控制電子束流量的大小。

電子顯微鏡的工作是進(jìn)入微觀世界的工作。我們平常所說(shuō)的微乎其微或微不足道的東西,在微觀世界中,這個(gè)微也就不稱其微,我們提出用納米作為顯微技術(shù)中的常用度量單位,即1nm=10-6mm。

掃描電鏡成像過(guò)程與電視成像過(guò)程有很多相似之處,而與透射電鏡的成像原理完全不同。透射電鏡是利用成像電磁透鏡一次成像,而掃描電鏡的成像則不需要成象透鏡,其圖象是按一定時(shí)間、空間順序逐點(diǎn)形成并在鏡體外顯像管上顯示。

二次電子成象是使用掃描電鏡所獲得的各種圖象中應(yīng)用泛,分辨本領(lǐng)的一種圖象。我們以二次電子成象為例來(lái)說(shuō)明掃描電鏡成象的原理。

透射電鏡的總體工作原理是:由電子發(fā)射出來(lái)的電子束,在真空通道中沿著鏡體光軸穿越聚光鏡,通過(guò)聚光鏡將之會(huì)聚成一束尖細(xì)、明亮而又均勻的光斑,照射在樣品室內(nèi)的樣品上;透過(guò)樣品后的電子束攜帶有樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息,樣品內(nèi)致密處透過(guò)的電子量少,稀疏處透過(guò)的電子量多;經(jīng)過(guò)物鏡的會(huì)聚調(diào)焦和初級(jí)放大后,電子束進(jìn)入下級(jí)的中間透鏡和、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,終被放大了的電子影像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板上;熒光屏將電子影像轉(zhuǎn)化為可見(jiàn)光影像以供使用者觀察。本節(jié)將分別對(duì)各系統(tǒng)中的主要結(jié)構(gòu)和原理予以介紹。

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