鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,哪家有銀電極頭,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。
背靶材料:
無(wú)氧銅(OFC)– 目前常使用的作背靶的材料是無(wú)氧銅,銀電極頭加工,因?yàn)闊o(wú)氧銅具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性,甘肅銀電極頭,而且比較容易機(jī)械加工。 如果保養(yǎng)適當(dāng),無(wú)氧銅背靶可以重復(fù)使用10次甚至更多。
鉬(Mo)– 在某些使用條件比較特殊的情況下,如需要進(jìn)行高溫帖合的條件下,無(wú)氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲,銀電極頭價(jià)格, 所以會(huì)使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無(wú)法與無(wú)氧銅匹配,同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。
為了形成高質(zhì)量圖像,聚合色粉被廣泛使用,以代替慣常使用的粉碎色粉。聚合色粉允許點(diǎn)的,從而出色地由數(shù)字信息獲得印刷物,由此得到高質(zhì)量的印刷物。0003和改進(jìn)形成精細(xì)分配的色粉顆粒、使色粉粒徑均一、使色粉顆粒呈球形的技術(shù)、以及從粉碎色粉到聚合色粉的轉(zhuǎn)變相一致地,在電子成像裝置比如激光束打印機(jī)等的成像裝置中,需要開發(fā)出一種導(dǎo)電輥,其賦予色粉以高靜電充電特性。
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