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軸承、減震維護?隨著分子泵使用時間延長,分子泵軸承在高速運轉(zhuǎn)中受到的磨損越來越嚴(yán)重,減震系統(tǒng)的減震能力越來越差,到一定程度后必須進行更換,否則可能出現(xiàn)更大程度的損壞。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動時間增長或無法達到正常轉(zhuǎn)速。判斷標(biāo)準(zhǔn):分子泵的振動突然增大,聲音出現(xiàn)異常;分子泵啟動時間增長或無法達到正常轉(zhuǎn)速。進口分子泵維修電話
由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好,因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達到10-8Pa的數(shù)量級,抽速可以達到1000L/s,達到大抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間,因此在使用時要以旋片機械泵作為其前級泵。進口分子泵維修電話
清洗??分子泵使用一定時間后,在系統(tǒng)漏率和系統(tǒng)衛(wèi)生沒有變化的情況下,真空性能下真空性能下降很多,阿爾卡特渦輪分子泵聯(lián)系電話,甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時應(yīng)對泵進行清洗。?注意!!?分子泵如果污染嚴(yán)重,則必須完全拆開,由技術(shù)人員處理。嚴(yán)禁未經(jīng)培訓(xùn)和真空性能下降很多,甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能。這時應(yīng)對泵進行清洗。授權(quán)的人員私自拆泵。進口分子泵維修電話
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含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導(dǎo)體制造設(shè)備,在集成電路刻蝕等工藝過程中,部分工藝氣體容易冷卻凝結(jié),附著在分子泵轉(zhuǎn)子及內(nèi)壁,造成分子泵轉(zhuǎn)子不平衡量增大或抽氣通道阻塞,影響分子泵的穩(wěn)定運行。加上加熱模塊可以適當(dāng)提高泵體溫度,降低工藝氣體凝結(jié),提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修
我們所稱呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導(dǎo)入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊,它會從電子層脫出。結(jié) 果,帶正電的氣體粒子—離子—留了下來。大部分導(dǎo)入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修
分子泵的工作區(qū)間是有限制的,*大啟動壓強也要在100pa,直接大氣啟動只會長期處于過載狀態(tài)運行,并無抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修
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羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵,此泵不可以單獨抽氣,前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。阿爾卡特進口泵維修
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似,工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸,
采用機械方法周期性地改變泵內(nèi)吸氣空腔的容積,使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹,從而獲得真空的泵稱旋轉(zhuǎn)機械真空泵。改變吸氣空腔的方式有水環(huán)式、滑閥式和旋片式等,這里先敘述旋片式機械真空泵。阿爾卡特進口泵維修
轉(zhuǎn)動泵又稱為容積壓縮泵。它的原理是利用機械方法使一個工作室的體積周期性地擴大和縮小以達到抽氣目的。它是一種前級泵,一般在工作室容積*小時和抽氣管的入口接通,于是氣體就進入工作室,直到工作室容積*大并重新與抽氣管隔斷的時候才停止; 以后工作室容積逐漸變小,氣體就被壓縮,直到壓強大于1大氣壓時排氣閥就打開而驅(qū)出氣體。阿爾卡特進口泵維修
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