高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU),為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,真空管道供應(yīng)商,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下,其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低,真空管道好不好,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管。
實驗室氣路改造安全要求
1、乙i炔銅鹽、乙i炔氣和氣瓶不得與銅或含銅量超過70%的合金接觸。所有附件不得使用這些金屬。
2、氣瓶和儀器之間應(yīng)該有一個安全瓶,以防止吸回瓶中的現(xiàn)象發(fā)生,并造成危險。
3、如果氣瓶發(fā)熱或發(fā)生回火,立即關(guān)閉氣瓶閥門,將氣瓶移出室外空礦坑,將氣瓶浸入冷水中,真空管道,或倒入大量冷水降溫,慢慢打開閥門并繼續(xù)冷卻,真空管道廠商,直到氣體釋放。
4、乙i炔、氫氣和液化石油i氣是危險的。
5、氧氣雖然不易i燃,但助燃性強,不得接觸污物、有機物。
6、使用腐蝕性氣體。氣瓶和附件應(yīng)經(jīng)常檢查。不用時不要把它們放在實驗室里。
氣體管道工程是如何進行分離的?
氣體管道工程在化工行業(yè)的使用范圍廣泛,大家都知道氣體管道給我們生活帶來的作用,那么氣體管道工程是如何進行分離的呢?下面就來為大家介紹一下:
氣體管道工程
1、 按材料性質(zhì)分類:可分為金屬管道和非金屬管道。
2、按設(shè)計壓力分級:管道工程輸送介質(zhì)的壓力范圍很廣,從真空負壓到數(shù)百兆帕。工業(yè)管道以設(shè)計壓力為主要參數(shù)進行分級,可分成真空管道、低壓管道、中壓管道、高壓管道和超高壓管道。
工業(yè)管道按壓力分級 級別名稱設(shè)計壓力P(MPai)級別名稱設(shè)計壓力P(MPa) 真空管道P0高壓管道10超高壓管道P100 中壓管道1.6。
3、按輸送溫度分類:工業(yè)管道輸送介質(zhì)的溫度差異很大,按介質(zhì)溫度可分為低溫管道、常溫管道、中溫和高溫管道。 工業(yè)管道按介質(zhì)溫度分類 類別名稱介質(zhì)工作溫度t(℃)類別名稱介質(zhì)工作溫度t(℃) 低溫管道t≤-40中溫管道120 常溫管道-40450。
4、按輸送介質(zhì)的性質(zhì)分類:給排水管道、壓縮空氣管道、氫氣管道、氧氣管道、乙i炔管道、熱力管道、燃氣管道、燃油管道、劇i毒流體管道、有毒流體管道、酸堿管道、鍋爐管道、制冷管道、凈化 純氣管道、純水管道。
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