物鏡
處于樣品室下面,緊貼樣品臺(tái),是電鏡中的個(gè)成像元件,在物鏡上產(chǎn)生哪怕是極微小的誤差,都會(huì)經(jīng)過多級(jí)高倍率放大而明顯地暴露出來,所以這是電鏡的一個(gè)重要部件,決定了一臺(tái)電鏡的分辨本領(lǐng),可看作是電鏡的心臟。
特點(diǎn) 物鏡是一塊強(qiáng)磁透鏡,焦距很短,對材料的質(zhì)地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺(tái)電鏡的分辨率指標(biāo)的問題,便是對物鏡的性能設(shè)計(jì)和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小,又希望其空間大,便于樣品操作,但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。
柵極位于陰、陽極之間,靠近燈絲頂端,為形似帽狀的金屬物,中心亦有一小孔供電子束通過。柵極上加有0~1000V的負(fù)電壓(對陰極而言),這個(gè)負(fù)電壓稱為柵偏壓VG,它的高低不同,可由使用者根據(jù)需要調(diào)整,柵極偏壓能使電子束產(chǎn)生向中心軸會(huì)聚的作用,同時(shí)對燈絲上自由電子的發(fā)射量也有一定的調(diào)控抑制作用。
工作原理 ,在燈絲電源VF作用下,電流IF流過燈絲陰極,使之發(fā)熱達(dá)2500℃以上時(shí),便可產(chǎn)生自由電子并逸出燈絲表面。加速電壓VA 使陽極表面聚集了密集的正電荷,形成了一個(gè)強(qiáng)大的正電場,在這個(gè)正電場的作用下自由電子便飛出了電子外。調(diào)整VF可使燈絲工作在欠飽和點(diǎn),電鏡使用過程中可根據(jù)對亮度的 需要調(diào)節(jié)柵偏壓VG的大小來控制電子束流量的大小。
直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm,高50 mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,噬菌體透射電鏡檢測技術(shù)服務(wù),粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí),因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10 nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。
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