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主營：氦檢漏系統(tǒng),非標(biāo)定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量氣體泄漏的設(shè)備，通常由一個或多個氣密性容器、傳感器和控制單元組成。其主要用于航空航天領(lǐng)域和其他需要高精度測量的行業(yè)。主要功能包括：首先是可以確定被測物體的泄露量；其次可以實時監(jiān)測并記錄測試數(shù)據(jù)以備查詢歷史數(shù)據(jù)的方便快捷操作界面設(shè)計；是可以通過對壓力信號的分析處理來確定密封容器的質(zhì)量狀態(tài)及生產(chǎn)過程中影響產(chǎn)品質(zhì)量的各種因素.通過對這些參數(shù)的變化進(jìn)行分析判斷出產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，并及時發(fā)出報警提示操作者作出相應(yīng)的調(diào)整措施或者直接把有問題的零件篩選出來從而保證產(chǎn)品的質(zhì)量和合格率達(dá)到100%.
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個密封件是否有缺陷。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。當(dāng)需要檢查的對象內(nèi)部存在微小壓力時，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過管道進(jìn)入待測對象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。
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第4年
