半導(dǎo)體設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備,屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先導(dǎo)者,芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造和封裝測(cè)試等需在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設(shè)計(jì)和制造,半導(dǎo)體設(shè)備,設(shè)備的技術(shù)進(jìn)步又反過(guò)來(lái)推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體氧化設(shè)備以及一種制造半導(dǎo)體元件的方法,其能夠沿平面方向保持包含在半導(dǎo)體樣品內(nèi)的選擇氧化層的氧化量的均勻性, 并適當(dāng)?shù)乜刂蒲趸俊?p>
半導(dǎo)體清洗設(shè)備公司提供濕法設(shè)備,包含濕法槽式清洗設(shè)備及濕法單片式清洗設(shè)備,主要應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)、平板顯示等領(lǐng)域。隨著半導(dǎo)體芯片工藝技術(shù)的發(fā)展,工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入 28 納米、14 納米等更等級(jí),隨著工藝流程的延長(zhǎng)且越趨復(fù)雜,每個(gè)晶片在整個(gè)制造過(guò)程中需要甚至超過(guò) 200 道清洗步驟,晶圓清洗變得更加復(fù)雜、重要及富有挑戰(zhàn)性;清洗設(shè)備及工藝也必須推陳出新,使用新的物理和化學(xué)原理,在滿足使用者的工藝需求條件下,兼顧降低晶圓清洗成本和環(huán)境保護(hù)。
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