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江蘇潤璽環(huán)保設(shè)備有限公司
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| 先生： |
半導(dǎo)體設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先導(dǎo)者，芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造和封裝測試等需在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設(shè)計(jì)和制造，設(shè)備的技術(shù)進(jìn)步又反過來推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體氧化設(shè)備以及一種制造半導(dǎo)體元件的方法，其能夠沿平面方向保持包含在半導(dǎo)體樣品內(nèi)的選擇氧化層的氧化量的均勻性， 并適當(dāng)?shù)乜刂蒲趸俊?p>
一種半導(dǎo)體氧化設(shè)備，其配有:由室壁界定的可密封氧化室;設(shè)置于氧化室內(nèi)，宿州半導(dǎo)體氧化設(shè)備，并用來支撐半導(dǎo)體樣品的基座;用于向所述氧化室供應(yīng)對所述
半導(dǎo)體樣品的特定部分進(jìn)行氧化的水蒸汽的供應(yīng)部分;監(jiān)測窗，其設(shè)置于所述氧化室的室壁之一內(nèi)，半導(dǎo)體氧化設(shè)備廠家，并且設(shè)置于能夠面對支撐于所述基座上的所述半導(dǎo)體樣品的位置處;監(jiān)測部分，其設(shè)置于所述氧化室之外，并且能夠經(jīng)由所述監(jiān)測窗面對支撐于所述基座上的半導(dǎo)體樣品;以及調(diào)整所述基座和所述監(jiān)測部分之間的距離的調(diào)整部分。
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第4年
