集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)

1、特點(diǎn)：實(shí)驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高，集中供氣管道安裝設(shè)計(jì)，為實(shí)驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。

2、經(jīng)濟(jì)性：建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的實(shí)驗(yàn)室空間，更換鋼瓶時(shí)不需要切斷氣體，保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的鋼瓶，支付較少的鋼瓶租金，因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來自于同一個(gè)氣源。此種供應(yīng)方式會(huì)減少運(yùn)輸費(fèi)用，減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量，以及良好的鋼瓶管理。

3、使用率：集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處，這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。

4、安全性：保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，集中供氣管道安裝設(shè)計(jì)好不好，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，集中供氣管道安裝設(shè)計(jì)哪家好，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)

（1）通過氣瓶和輸送管道將載氣輸送給儀器，在氣瓶出口裝有單向閥，可避免更換氣瓶時(shí)有空氣和水分混入，另外在一端安裝泄壓開關(guān)球閥，將多余的空氣和水分排放后再接入儀器管道，保證儀器用氣的純度。

（2）集中供氣系統(tǒng)采用二級(jí)減壓保證壓力的穩(wěn)定，采用二級(jí)減壓的方式，一是，經(jīng)過第i一級(jí)減壓后，集中供氣管道安裝設(shè)計(jì)供應(yīng)商，干路壓力比氣瓶壓力大大降低，起到了緩沖管道壓力的作用，提高了用氣的安全，降低了應(yīng)用的風(fēng)險(xiǎn)，二是保證儀器供氣入口壓力的穩(wěn)定，降低了因?yàn)闅怏w壓力波動(dòng)而引起的測(cè)量誤差，保證了儀器使用的穩(wěn)定性。

（3）由于實(shí)驗(yàn)室有些儀器需要使用易i燃?xì)怏w，如甲i烷，乙i炔，氫氣，做這易i燃?xì)怏w的管路時(shí)，應(yīng)注意管路盡量短，減少中間接頭的連接，同時(shí)，氣瓶一定裝入防爆氣瓶柜內(nèi)，氣瓶輸出端接回火器，可阻止火焰回流氣瓶引起的爆i炸，防爆氣瓶柜頂端應(yīng)有連接到室外的通風(fēng)排氣口，且有泄漏報(bào)警裝置，一旦泄漏能及時(shí)報(bào)警并將氣體排到室外。

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