超純金屬的制備有化學(xué)提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見(jiàn)硅、鍺、鋁、銦)。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。
由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度受到一定的限制,只有用化學(xué)方法將金屬提純到一定純度之后,酸霧吸收塔廠,再用物理方法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度提到一個(gè)新的高度??梢杂冒雽?dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例說(shuō)明典型的超純金屬制備及檢測(cè)的原理(見(jiàn)區(qū)域熔煉)。
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,酸霧吸收塔價(jià)格,尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、超高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬,合金,湖南酸霧吸收塔,陶瓷化合物等。
由表面層和基層組成的半導(dǎo)電輥;該表面層具有較高的電阻值,由橡膠組合物制成;基層具有較低的電阻值,酸霧吸收塔廠家,由導(dǎo)電橡膠組合物組成。該半導(dǎo)電輥的目的在于通過(guò)良好地平衡表面層和基層的電阻值而獲得良好的靜電充電特性。有必要使這兩種層的厚度高度準(zhǔn)確。為使兩種層的厚度高度準(zhǔn)確,需要較麻煩的管理,并且生產(chǎn)橡膠輥的成本較高。
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