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廣州潽拓光電——leybold Turbovac 340MCT萊寶懸磁浮分子泵
渦輪分子泵是獲取高真空的一個重要設備,被廣泛應用于高真空場合。相較于傳統(tǒng)滾珠及油膜軸承,電磁軸承作為一種新型軸承,因其非接觸、無摩擦、低功耗、維護成本低、動力學可控并可對轉(zhuǎn)子動不平衡進行主動控制等特殊優(yōu)點,在工業(yè)應用上前景廣闊。對真空設備而言,非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應用于渦輪分子泵,可實現(xiàn)分子泵的無油、無磨損運行,運行安靜,振動很小,尤其適合半導體工業(yè)等超凈高真空應用場合。在此,將介紹2000 L 五自由度磁軸承渦輪分子泵樣機研究進展,重點關注磁懸浮分子泵試驗研究中遇到的各種復雜振動抑制問題。這些振動問題由各種因素所導致,包括泵轉(zhuǎn)子的彎曲模態(tài)振動,陀螺效應造成的轉(zhuǎn)子動力學失穩(wěn),泵葉輪上葉片的顫振及一個由轉(zhuǎn)子與分子泵永磁電機共同導致的復雜振動模態(tài)。這些因素同時出現(xiàn),并且均能對泵轉(zhuǎn)子的穩(wěn)定性造成破壞,必須在磁軸承控制器設計中同時解決,給控制器的設計帶來大的困難。
潽拓——萊寶分子泵維修電話,分子泵
廣州潽拓光電成功維修一臺leybold Turbovac 340MCT萊寶懸磁浮分子泵及提維修技術服務
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leybold Turbovac 340MCT萊寶懸磁浮分子泵展示
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德國萊寶Leybod渦輪分子泵Leybold T1600 二手泵維修(PUTUOVAC VACUUM)
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