1、簡要介紹
PDMS芯片加工平臺旨在為PDMS芯片制備提供一套gao效、quan面的解決方案。該平臺集成了電子秤、PDMS芯片澆筑器、烘箱、PDMS芯片打孔器、PDMS芯片切割器、PDMS芯片對準(zhǔn)器以及PDMS等離子鍵合機(jī)等PDMS芯片加工設(shè)備。電子秤確保PDMS材料的jing確配比,微流控光刻機(jī),為芯片制備提供了可靠的基礎(chǔ)。PDMS澆筑器以其zhuan業(yè)的設(shè)計(jì),使PDMS材料均勻澆筑于模具上,微流控光刻機(jī)怎么樣,為芯片成型提供了支撐。烘箱提供穩(wěn)定的溫度控制,確保PDMS材料的充分固化。PDMS打孔器和切割器保證了jing準(zhǔn)的孔洞和結(jié)構(gòu)制作,提供了更高的加工精度。PDMS對準(zhǔn)器則實(shí)現(xiàn)了多層結(jié)構(gòu)的jing確對準(zhǔn),微流控光刻機(jī)企業(yè),增強(qiáng)了制作多層PDMS芯片的能力。而等離子鍵合機(jī)則實(shí)現(xiàn)PDMS了的牢固粘合。加工平臺的緊湊設(shè)計(jì)使得普通實(shí)驗(yàn)室也可輕松部署,有助于客戶快速實(shí)現(xiàn)芯片制備,微流控光刻機(jī),為微流控技術(shù)的研究和應(yīng)用提供了便捷而強(qiáng)大的支持。
數(shù)顯測厚規(guī)(千分款)
測量勻膠厚度
量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
顯微鏡觀察頭:鉸鏈?zhǔn)饺坑^察頭,30°傾斜,瞳距48~75mm
目鏡:超大視野目鏡 10X/22
無xian遠(yuǎn)平場消色差物鏡:4X/0.1,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65
轉(zhuǎn)化器:四孔轉(zhuǎn)換器
載物臺:載物臺面積300×268mm,移動范圍250×250mm
焦距調(diào)節(jié):同軸粗微動調(diào)焦機(jī)構(gòu),行程24mm
照明系統(tǒng) :6V20W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)
濾色鏡 藍(lán)色、黃色、綠色、磨砂玻璃片
SU8模具加工平臺旨在為SU8模具加工提供一個gao效、全mian的解決方案,該平臺集成了桌面光刻機(jī)、勻膠機(jī)和熱板等he心設(shè)備。桌面光刻機(jī),體積小巧,采用LED光源,曝光分辨率可達(dá)2um,曝光均勻性大于90%,可實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的精細(xì)制備;勻膠機(jī),轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性為±0.5%,轉(zhuǎn)速達(dá)10000轉(zhuǎn),可確保光刻膠均勻涂敷,提高一致性;熱板,溫度穩(wěn)定性±1%,可為SU8模具提供充分的烘烤,從而提升SU8模具結(jié)構(gòu)的耐久性和機(jī)械性能。相比傳統(tǒng)加工平臺,設(shè)備體積龐大,環(huán)境要求嚴(yán)苛,SU8模具加工平臺適應(yīng)性強(qiáng),光刻機(jī)占地面積小,普通實(shí)驗(yàn)室也可輕松部署。SU8模具加工平臺,有利于客戶快速實(shí)現(xiàn)芯片制備,為微流控技術(shù)的推廣和應(yīng)用提供便捷途徑。
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