超純氧氣的純度標(biāo)準(zhǔn)是多少?
超純氧氣的純度標(biāo)準(zhǔn)一般是氧氣含量不低于99.995%。
在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)于一些特殊行業(yè),超純氧氣哪家便宜,如電子半導(dǎo)體制造,對(duì)超純氧氣的純度要求可能更高,甚至達(dá)到99.999%以上。這是因?yàn)檫@些高精度的工業(yè)生產(chǎn)過程不能容忍過多雜質(zhì),哪怕是微量雜質(zhì)也可能影響產(chǎn)品質(zhì)量,比如在芯片制造過程中,高純度的氧氣用于氧化反應(yīng),雜質(zhì)可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)缺陷。
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高純氧氣氧氣是人類生存的必需品,那么超純氧氣跟氧氣有什么區(qū)別呢。接下來我們的小編為大家說一下普通氧氣和高純氧氣的區(qū)別!
氧氣,俗稱干燥氧;指采用深冷分離法將大氣中氧氣分離以供應(yīng)救治人使用的氧氣。氧含量不小于99.5%,無色、無味、有害雜質(zhì)少,是一種特殊的流通商品。檢測項(xiàng)目包括氧含量、水分含量、二氧化碳含量、、氣態(tài)酸性物質(zhì)和堿性物質(zhì)含量、臭氧及其他氣態(tài)氧化物、氣味等項(xiàng),同時(shí)在生產(chǎn)過程中必須對(duì)二氧化碳有害氣體和雜質(zhì)進(jìn)行過濾。
而超純氧氣的純度≥99.995%并未進(jìn)行過有害雜質(zhì)清除。不可與氧氣混用!
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大家知道制作超純氧氣的方法有什么呢?相信很多人都不知道吧,那么接下來就讓小編為大家做一個(gè)詳細(xì)的介紹吧。我們一起來看一下吧。
首先按照摩爾比1:1比例取出濃度大于99.9%,粒度小于500微米的硅粉和碳粉,然后進(jìn)行兩次合成。在初次合成步驟中,將所取硅粉和碳粉混合均勻放入坩堝中,再將坩堝置于中頻感應(yīng)加熱爐,并對(duì)加熱爐的生長室抽真空,除去其中的氧氣和氮?dú)猓瑫r(shí)將溫度升高至1000攝氏度。然后向生長室中充入高純度的氦氣和氫氣的混合氣體,加熱至1500攝氏度,保持反應(yīng)時(shí)間15分鐘,超純氧氣價(jià)格,而后降至室溫,超純氧氣多少錢一瓶,后將反應(yīng)后的產(chǎn)物中大于1厘米的團(tuán)聚物碾成小于1毫米的粉末。
在二次合成步驟中,將上述產(chǎn)物粉末混合均勻重新放入坩堝,并將坩堝再次置于中頻感應(yīng)加熱爐,抽真空環(huán)境,超純氧氣,升高溫度到1000攝氏度,通入氦氣和氫氣的混合氣體。然后升高溫度到1600攝氏度到2000攝氏度,保持反應(yīng)合成時(shí)間2小時(shí)到10小時(shí),再降至室溫。通過這兩步即可以得到粒度小于20微米的適用于半導(dǎo)體碳化硅硅單晶生長的高純碳化硅粉,采用粉末衍射法(XRD)對(duì)初次合成和二次合成產(chǎn)物進(jìn)行物相分析,得到的XRD如圖1所示,通過分析可以發(fā)現(xiàn)初次合成粉末有硅和碳的單質(zhì)剩余,而二次合成則可以使得反應(yīng)更加完全,得到純度更高的碳化硅。
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