熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過(guò)程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時(shí)以1000℃~1600℃進(jìn)行燒結(jié)。熱壓工藝制作過(guò)程所需的成型壓力較小,燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)時(shí)間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,貴金屬?gòu)?fù)合材料廠,使器件的性能大幅度下降。
加工工業(yè)里鉬用得更廣泛。高溫下使用的模具受熱、機(jī)械交變應(yīng)力作用導(dǎo)致材料疲勞出現(xiàn)裂紋。而利用熱膨脹系數(shù)小,導(dǎo)熱強(qiáng)、高溫強(qiáng)度好的鉬或鉬基合金,模具壽命大幅度延長(zhǎng)。壓鑄手表殼等精巧零件時(shí),壽命可達(dá)5000次,一般為3000次,軸承生產(chǎn)中鎢板,淮北貴金屬?gòu)?fù)合材料,鉬板,貴金屬?gòu)?fù)合材料加工技術(shù),鎢棒,鉬棒,鎢管,貴金屬?gòu)?fù)合材料哪家好,鉬管,鎢坩堝,鉬坩堝采用鉬合金模具比原高速鋼、軸承鋼模具壽命提高15倍。
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