工業(yè)氣體在使用上需要注意哪些事項

在使用一氧i化碳氣體檢測儀的時候要注意事項：

1、檢查氣體流量、通常為30/h，流量過大或者過小對分析儀結(jié)果影響較大

2、更換濾紙：停抽氣泵，過濾罐排水

3、檢查氣路系統(tǒng)中有無漏氣現(xiàn)象。抽泣泵膜片有無破損，取樣探頭密封圈是否破i裂，四通閥、冷凝汽是否損壞等

4、取樣探頭清洗，取樣孔管路疏通

5、檢查冷凝器工作是否正常，通常溫度調(diào)整在3攝氏度范圍內(nèi)

6、檢查測量器室看是否臟污，及時清洗。

1、氣瓶安全附件完好齊全（包括橡皮圈、安全帽、壓力表、阻火器、減壓閥、易熔塞） ， 膠皮軟管必須完好無老化破損情況，與氣瓶接口處應(yīng)用卡子固定，以防滑脫。 2、氧氣、乙i炔不能混合存放（二者應(yīng)隔開或隔離放置，隔開距離 2 米以上） ，使用時距離 5 米以上，氣瓶不可放置在距明火、高溫部位較近的地方（距離 15 米以上） ，放置場所應(yīng)陰 涼通風(fēng)，并有防傾倒措施。 3、工業(yè)氣瓶在搬運過程中，嚴禁在地上滾動，應(yīng)用手旋轉(zhuǎn)平移。裝車時，氣體管道安裝哪家好，氣瓶應(yīng)該方向一 致，捆扎牢固。運輸必須用危化車輛。氧氣、乙i炔嚴禁混裝運輸。 4、在上部有動火和高溫天氣使用氣瓶時，應(yīng)用不燃物體遮蓋，高溫天氣不能在陽光下長時 間曝曬，氣瓶使用完畢后，須拆下減壓閥、膠皮軟管等設(shè)施，并戴上安全帽，然后按第 2 條要求放置。 5、乙i炔氣瓶在使用時嚴禁平放在地上。 6、氧氣瓶在儲存使用過程中嚴禁接觸油脂。 7、切割、焊接作業(yè)前，應(yīng)清理周圍易i燃物，以防引燃。 8、動火作業(yè)現(xiàn)場應(yīng)設(shè)專人監(jiān)護，并配置相應(yīng)的消防滅火設(shè)施，如滅火器、水等。 9、存放（或存放過）易i燃易i爆危險品的容器、管線設(shè)備不能直接進行動火作業(yè)，應(yīng)進行相 應(yīng)處理或采用其他安全措施，確認安全后再進行動火作業(yè)。 10、在具有一定危險性的場所動火作業(yè)，用火單位應(yīng)使用“用火許可證” ，在落實安全措施 后經(jīng)負責(zé)人審批再進行施工。

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，氣體管道安裝價格，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，氣體管道安裝生產(chǎn)商，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

配管的準備工作

(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，新疆氣體管道安裝，下料時均不得采用氧、乙i炔焰切割。無論是機械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤滑劑。

(2)管子切口應(yīng)當(dāng)與管軸線嚴格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶劑中浸泡1~1.5h。安全閥清洗后應(yīng)當(dāng)重新試壓。

(4)波紋管等無法拆解成零部件的閥門，應(yīng)在組裝的情況下清洗。對清洗的效果可用下法檢查:從閥門入口處注入清洗溶劑，并使溶劑流經(jīng)閥門各處，閥門流出的溶劑過濾后用顯微鏡檢查過濾器表面情況是否符合設(shè)計要求。

(5)采用普通不銹鋼管時，其表面若粘附有油污，安裝后清洗十分困難，應(yīng)當(dāng)將原管放入清洗槽內(nèi)清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作，必須保證清除掉的銹蝕部分而不損害未銹蝕的表面。

(6)氧氣管路的閥門、附件等，應(yīng)當(dāng)嚴格禁油，并在安裝前按有關(guān)要求嚴格脫脂。

3.金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)。用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:

1)低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。

2)銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中，個別生產(chǎn)工藝如GaAs的操作，為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅制管路及其附件，只能使用不銹鋼材料。