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主營：工業(yè)氣體高純氣體低溫液態(tài)氣體混合氣電子特氣標(biāo)準(zhǔn)氣
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高純氬氣無色無味無毒氣體?；瘜W(xué)性質(zhì)很不活潑，未形成任何化合物。今天來帶大家簡單了解一下高純氬氣的特點(diǎn)及用途。
高純氬氣在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬氣也可作為色譜載氣。
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如何提高氧氣的純度達(dá)到高純級別，有哪些關(guān)鍵的技術(shù)環(huán)節(jié)？
要提高氧氣純度達(dá)到高純級別，關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)眾多。
一是低溫精餾技術(shù)。利用空氣中各成分沸點(diǎn)的差異，在低溫環(huán)境下進(jìn)行精餾。將空氣液化后，通過準(zhǔn)確控制溫度和壓力，使氧氣等成分按沸點(diǎn)先后分離出來，從而獲得高純度氧氣。
二是吸附技術(shù)。通過特殊的吸附劑，如分子篩，對空氣中的雜質(zhì)氣體進(jìn)行選擇性吸附。吸附劑的微孔結(jié)構(gòu)可以吸附氮?dú)狻⒍趸嫉入s質(zhì)，讓氧氣通過，經(jīng)過多次吸附循環(huán)可顯著提高氧氣純度。
此外，膜分離技術(shù)也很重要。利用具有選擇性透過功能的膜，讓氧氣優(yōu)先透過，阻擋其他氣體，在優(yōu)化膜材料和操作條件下，有助于提升氧氣純度。
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在使用高純氬氣時(shí)，如何防止其與其他氣體混合，以確保其純度？
在使用高純氬氣時(shí)，確保其純度需要注意以下幾點(diǎn)。
一是氣體輸送系統(tǒng)方面，要使用專門的、密封性良好的管道，如不銹鋼管道，并且管道在安裝前要進(jìn)行嚴(yán)格的清潔和吹掃，去除可能殘留的雜質(zhì)和其他氣體。管道接口處采用高質(zhì)量的密封材料和連接方式，如焊接或高質(zhì)量的密封墊片連接，防止氣體泄漏和外界氣體進(jìn)入。
二是在使用設(shè)備端，要保證設(shè)備的氣體入口有良好的單向閥和過濾裝置。單向閥可以阻止其他氣體倒流進(jìn)入氬氣系統(tǒng)，過濾裝置能夠進(jìn)一步過濾可能混入的雜質(zhì)顆粒和其他氣體分子。同時(shí)，在使用前對整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空處理，也有助于保持氬氣的純度。
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