真空設(shè)備檢漏
設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便,檢測(cè)迅速等特點(diǎn),是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器,
其測(cè)量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離,氫氣發(fā)動(dòng)機(jī)真空箱氦檢漏系統(tǒng),在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器,通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。
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氫氣檢漏
油霧法
油霧法的測(cè)試塵源為油霧,“量”為含油霧空氣的濁度,以過(guò)濾器前后氣樣的濁度差別來(lái)判斷過(guò)濾器對(duì)油霧顆粒的過(guò)濾效率。
德國(guó)規(guī)定使用石蠟油,油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測(cè)過(guò)濾器時(shí),容易對(duì)過(guò)濾器造成損傷,且不能直接讀值,浪費(fèi)時(shí)間。
DOP法
這種方法曾經(jīng)是國(guó)際上測(cè)試過(guò)濾器海綿常用的方法。
它的測(cè)試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也稱為“熱DOP”,“量”為含DOP空氣的渾濁程度。
將DOP液體加熱成蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過(guò)大和過(guò)小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒,進(jìn)入風(fēng)道,通過(guò)測(cè)量過(guò)濾器前后氣樣的濁度,并由此判斷過(guò)濾器對(duì)0.3微米粉塵的過(guò)濾效率。
真空設(shè)備檢漏
氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀,通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀,是只檢測(cè)氦的質(zhì)譜儀,這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作,需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下,空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流,質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。
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