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北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司

主營:“真空箱式氦檢漏設備”,“LNG低溫容器抽真空設備”

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氦氣檢漏儀

氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱,運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其中心部件質譜室,使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后,不同質荷比的離子在場中彼此分開,而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起,如果在適當位置安置接收1器接收所有這些離子,就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖,這就是質譜。

用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計,如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。

專門設計的以氦氣作示蹤氣體進行檢漏的質譜儀稱為氦質譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外,還具有適應范圍廣、定位定量準確、無毒、安全、反應速度快等優(yōu)點。氦質譜檢漏儀中用得較多的是90°和180°的磁偏轉型質譜儀。

眾所周知,當一個帶電質點(正離子)以速度v進入均勻磁場的分析器中,如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直,則它的運動軌跡為圓,如圖1所示。當磁場的磁通密度一定時,不同質荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應的運輸半徑,也就是都有相應的圓軌跡,這樣,不同質荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時,汽車空調檢漏系統(tǒng),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進入檢漏儀的質譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應出來,達到了檢漏的目的。

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氦質譜檢漏儀的進展

經(jīng)過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現(xiàn)在如下幾個方面:

(1)便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,檢漏系統(tǒng),而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng),不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,汽車空調檢漏系統(tǒng),而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。

例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。

另外,逆擴散檢漏方式,實現(xiàn)了高壓強下檢漏,也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。

氦質譜檢漏儀行業(yè)應用

質譜儀又稱質譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據(jù)帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理,按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀;按工作原理分為靜態(tài)儀器和動態(tài)儀器。

氦氣,是一種稀有氣體,英文名為Helium,元素符號為He,原子序數(shù)2。為無色無味的惰性氣體,化學性質不活潑,一般狀態(tài)下很難和其它物質發(fā)生反應。常溫下,氦氣是一種極輕的無色、無臭、無味的單原子氣體。是所有氣體中難液化的,是不能在標準大氣壓下固化的物質。液化后溫度降至2.174K時,汽車空調檢漏系統(tǒng),具有表面張力很小、導熱性很強、黏度極低等特殊性質。利用液態(tài)氦可以得到接近零度的低溫

氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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